方案分(fēn)享丨 瓦片多(duō)線切割機
2022-6-17新聞
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設備介紹
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瓦片多(duō)線切割技術現主要用(yòng)于切割電機内部磁材，對(duì)鋁鎳钴、鐵氧體、钐钴及钕鐵硼等材料進行加工。
随著(zhe)新能源汽車及工業自動化(huà)行業的(de)興起，瓦片多(duō)線切割技術的(de)應用(yòng)可(kě)以大(dà)大(dà)提高(gāo)磁材的(de)産出效率，減少原材料損耗，還(hái)可(kě)以縮減下(xià)道工序的(de)工作量。
瓦片多(duō)線切割機是一種新型切割設備，簡稱線鋸，通(tōng)過金屬絲的(de)高(gāo)速往複運動，把磨料帶入半導體加工區(qū)域進行研磨，将半導體等硬脆材料一次性切割爲數百片薄片。多(duō)線切割機以其極高(gāo)的(de)生産效率和(hé)出片率，在大(dà)直徑矽片加工領域已逐漸取代内圓切割機。
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工藝介紹
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【設備傳動圖】
主軸上纏繞多(duō)達幾百圈金屬線用(yòng)于切割産品。
張力擺杆提供恒定線網張力。
收放卷電機實現高(gāo)速切割時(shí)金屬線的(de)收放動作。
排線機構實現金屬線在收放卷上均勻排布及糾偏動作。
工作台升降進行産品切割，橫移可(kě)切割瓦片。
【主軸控制—力矩平衡】
采用(yòng)四伺服主軸設計，主軸之間通(tōng)過轉矩實時(shí)反饋，實現閉環同步控制，而無需傳送帶機構，機構運轉動态響應性高(gāo)，易于安裝，使用(yòng)壽命更長(cháng)。
【收放線控制—PID控制】
收放線卷徑實時(shí)計算(suàn)，通(tōng)過速度跟随加模糊PID控制，實現收放線的(de)平穩運行。
【排線控制—自動糾偏】
排線電機根據收放卷電機轉速做(zuò)速度跟随同步運動，實現金屬線高(gāo)速運動時(shí)的(de)排線動作。
新金屬線偶爾會有排線錯亂的(de)情況，這(zhè)種情況在高(gāo)速運動時(shí)會導緻斷線。在排線機構上線的(de)兩側會有銅棒或者傳感器用(yòng)于采集金屬線偏移的(de)信号，若采集到了(le)金屬線偏移信号，排線會根據信号進行正向或者反向速度疊加運動，實現排線糾偏。
演示視頻(pín)：
【瓦片模式】
通(tōng)過工作台升降軸和(hé)橫動軸的(de)位置跟随同步運動，使得(de)工作台按照(zhào)預設軌迹進給，從而切割出需要的(de)瓦片。
切割成品：
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禾川方案
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【方案拓撲】
【性能指标】
1.金屬線速度：800~1200m/min。
2.金屬線加速度：10m/s²。
3.金屬線儲線量：20km以上。
4.擺杆擺幅：±1°以内。
5.斷線率：1%以内。
6.切片厚度差：2絲以内。
7.張力波動：0.1N以内。
8.切割模式：直片、瓦片。
【方案優勢】
1. 工作效率高(gāo)，一次可(kě)切割幾百個(gè)晶片。
2. 加工晶片表面損傷層淺，片間切割損耗少。
3. 收放線卷徑實時(shí)計算(suàn)，通(tōng)過算(suàn)法加模糊PID控制，達到擺杆抖動±1°以内。
4. 精密排線控制，能夠自動糾偏和(hé)換向，保持排線運行穩定。
5. 實時(shí)采集主軸當前力矩，通(tōng)過閉環同步控制，實現多(duō)軸力矩平衡。
